Il-krijopompi huma wkoll użati ħafna fil-ħajja tal-lum. Ħafna nies forsi ma semgħux bil-krijopompi. Il-krijopompi huma tip ta 'pompa tal-vakwu li tuża gass ta' kondensazzjoni tal-wiċċ b'temperatura baxxa. Il-vantaġġ huwa li l-qawwa tal-ippumpjar hija l-akbar. Illum, ejja nagħtu ħarsa lejn pompi krijoġeniċi Kif taħdem il-pompa.
Il-prinċipju tax-xogħol tal-cryopump huwa li tuża l-gass biex jassorbi fiżikament fuq il-wiċċ ta 'temperatura ultra-baxxa biex jinkiseb l-effett li teżawrixxi. Huwa metodu effettiv u veloċi biex jinkiseb vakwu nadif.
Il-cryopomp jista 'jilħaq vakwu estremament għoli (10-11Pa), u għandu l-vantaġġi ta' veloċità ta 'l-exhaust mgħaġġla, l-ebda żejt u direzzjoni ta' installazzjoni illimitata.
Fuq l-istadju kiesaħ ta 'l-ewwel stadju tal-cryopomp, kopertura ta' lqugħ u baffle huma stabbiliti, u t-temperatura tinżamm f'80K. L-istadju tat-tkessiħ sekondarju nżamm f'15K, u kopertura krijoġenika u adsorbent tal-karbonju attivat ġew stabbiliti fuqha.
Il-fwar tal-ilma huwa solidifikat fuq l-ilqugħ 80K u l-baffle 80K; nitroġenu, ossiġnu u argon huma solidifikati fuq il-kopertura krijoġenika 15K; idroġenu, elju u neon huma adsorbiti fuq l-adsorbent ġewwa l-għata krijoġenika 15K. Il-krijopompa tista 'teżawrixxi l-gassijiet kollha, iżda jekk l-ammont ta' gass adsorbit huwa kbir wisq, il-veloċità ta 'l-exhaust titnaqqas. F'dan il-każ, huwa meħtieġ li ssaħħan il-cryopomp, tirrilaxxa l-gass adsorbit, u terġa 'tużah.
Karatteristiċi tal-Cryopomp
Cryopump hija pompa tal-vakwu li tuża wiċċ ta 'temperatura baxxa biex tikkondensa l-gass, magħrufa wkoll bħala pompa tal-kondensat. Il-krijopompa tista 'tikseb vakwu nadif bl-ogħla rata ta' ippumpjar u l-inqas pressjoni aħħarija, u tintuża ħafna fir-riċerka u l-produzzjoni ta 'semikondutturi u ċirkwiti integrati, kif ukoll riċerka tar-raġġ molekulari, tagħmir ta' kisi bil-vakwu, strumenti ta 'analiżi tal-wiċċ vakwu, joni impjantaturi u apparat ta' simulazzjoni spazjali, eċċ.
Krijopompa hija pompa tal-vakwu li tuża l-effett ta 'kondensazzjoni ta' wiċċ ta 'tkessiħ b'temperatura baxxa ħafna (Inqas minn jew ugwali għal 77K) biex tneħħi l-gass mis-sistema. Sa mis-sittinijiet, l-ippumpjar krijoġeniku intuża dejjem aktar fl-akkwist u l-applikazzjoni tal-vakwu.
Cryopomp hija pompa tal-vakwu nadifa. Minħabba li l-medju krijoġeniku huwa biss refriġerant li jkessaħ il-wiċċ tal-ġbid tal-pompa u huwa maħżun jew iċċirkolat f'kontenitur magħluq, m'għandux kuntatt mal-ispazju tal-vakwu. Din il-karatteristika hija kritika għal ċerti sistemi ta 'vakwu li jeħtieġu sistemi ta' vakwu nodfa u mingħajr żejt.
Il-krijopompi jistgħu jiksbu pressjonijiet parzjali baxxi ħafna u veloċitajiet ta 'ippumpjar għoljin ħafna għall-biċċa l-kbira tal-gassijiet. Meta l-cryopump jaħdem f'medja tal-elju likwidu, għandu wkoll il-vantaġġi ta 'kapaċità ta' ippumpjar attwali kbira u ippumpjar mhux selettiv (ħlief għall-elju).
Il-krijopompi għandhom rwol vitali fir-riċerka u l-produzzjoni ta 'semikondutturi u ċirkwiti integrati, riċerka tar-raġġ molekulari u oqsma oħra. Hija pompa tal-vakwu nadifa. Dan ta 'hawn fuq huwa kollu dwar il-prinċipju tax-xogħol tal-cryopomps.