Cryopump hija pompa tal-vakwu li tuża wiċċ ta 'temperatura baxxa biex tikkondensa l-gass, magħrufa wkoll bħala pompa tal-kondensat. Il-krijopompa tista 'tikseb vakwu nadif bl-ogħla rata ta' ippumpjar u l-inqas pressjoni aħħarija, u tintuża ħafna fir-riċerka u l-produzzjoni ta 'semikondutturi u ċirkwiti integrati, kif ukoll riċerka tar-raġġ molekulari, tagħmir ta' kisi bil-vakwu, strumenti ta 'analiżi tal-wiċċ vakwu, joni impjantaturi u simulazzjoni spazjali. apparati, eċċ.
Prinċipju tal-ippumpjar Il-krijopompa hija mgħammra bi pjanċa kiesħa mkessħa għal temperatura baxxa ħafna b'elju likwidu jew friġġ. Jikkondensa l-gass u jżomm il-pressjoni tal-fwar tal-kondensat taħt il-pressjoni aħħarija tal-pompa, sabiex jinkiseb l-effett tal-ippumpjar. Il-funzjonijiet ewlenin tal-ippumpjar f'temperatura baxxa huma kondensazzjoni f'temperatura baxxa, adsorbiment f'temperatura baxxa u qbid f'temperatura baxxa.
krijopompa
① Kondensazzjoni f'temperatura baxxa: molekuli tal-gass jikkondensaw fuq il-wiċċ tal-pjanċa kiesħa jew fuq is-saff tal-gass ikkondensat, u l-pressjoni tal-ekwilibriju hija bażikament ugwali għall-pressjoni tal-fwar tal-kondensat. Meta tippompja l-idroġenu, it-temperatura tal-pjanċa kiesħa hija aktar baxxa.
②Assorbiment f'temperatura baxxa: Il-molekuli tal-gass huma adsorbiti fuq il-wiċċ ta 'l-adsorbent miksi fuq il-pjanċa kiesħa bi ħxuna ta' saff molekulari wieħed. Il-pressjoni tal-ekwilibriju għall-adsorbiment hija ħafna aktar baxxa mill-pressjoni tal-fwar fl-istess temperatura.
③Insib krijoġeniku: Molekuli tal-gass li ma jistgħux jiġu kkondensati fit-temperatura ta 'estrazzjoni huma midfuna u adsorbiti mis-saff dejjem jikber ta' gass kondensable.