Skond il-metodu ta 'provvista tal-mezz, il-krijoppi huma maqsuma fit-tipi li ġejjin:
Pompa krijoġenika tat-tank tal-ħażna: medju ta 'temperatura baxxa (elju likwidu) jiġi injettat direttament fit-tank tal-ħażna fil-pompa biex jikkondensa l-gass biex jinkiseb l-iskop tal-ippumpjar.
Il-vantaġġi tal-cryopump tat-tank tal-ħażna huma li l-pompa hija żgħira fid-daqs, l-ebda vibrazzjoni, l-ebda storbju, u faċli biex topera.
L-iżvantaġġ tal-pompa krijoġenika tat-tank tal-ħażna huwa li l-ispiża operattiva hija għolja, il-ħin tal-użu ta 'kull mili tal-mezz ta' temperatura baxxa huwa qasir, u s-sistema tal-vakwu li teħtieġ topera kontinwament għal żmien twil jeħtieġ li terġa 'timla perjodikament il-mezz tax-xogħol, u hija limitata mill-kundizzjonijiet tal-provvista tal-mezz ta' temperatura baxxa.
Cryopump tal-proċess: Il-pajp li jkessaħ cryopanel fil-pompa huwa konness mal-expander tar-refriġerazzjoni, u l-mezz krijoġeniku (elju tal-gass) huwa fornut lill-krijopump permezz tal-pipeline ta 'barra, jassorbi s-sħana tal-cryopanel, u mbagħad jirritorna fil-kompressur tar-refriġerazzjoni biex jifforma ċiklu magħluq. Il-volum tal-pompa huwa enormi, il-pipeline huwa kkumplikat, u t-telf tat-tkessiħ tal-pipeline huwa kbir.
Il-vantaġġ tal-krijomp tal-proċess huwa li għandu qawwa kbira ta 'tkessiħ u huwa l-aktar adattat għat-tneħħija tal-volum atmosferiku jew kamra kbira tal-vakwu.
Cryopump żgħir tal-friġġ: Il-krijomp żgħir tal-friġġ b'ċiklu magħluq huwa magħmul minn korp tal-pompa b'temperatura baxxa, cryopanel ta 'estrazzjoni ta' arja, pjanċa tal-ilqugħ tar-radjazzjoni, friġġ u kompressur.
L-akbar differenza bejn il-pompa krijoġenika tal-friġġ żgħir u l-pompa krijoġenika tal-proċess hija li l-ewwel u t-tieni irjus kesħin tal-friġġ huma konnessi direttament mal-iskrin tar-radjazzjoni u l-pjanċa kiesħa, u l-fluss fil-pipeline tal-konnessjoni bejn il-friġġ u l-kompressur huwa temperatura normali, temperatura għolja (jew baxxa). ) mezz tal-gass taħt pressjoni, m'hemm l-ebda problema ta 'trasport ta' medju ta 'temperatura baxxa, u għandu l-vantaġġi ta' cryopump tal-proċess u tank tal-ħażna cryopump. Hija pompa tal-vakwu ultra-għolja nadifa ideali fil-preżent.
Cryopumps friġġ żgħar jintużaw ħafna fil-preparazzjoni ta 'film irqiq, teknoloġija mikroelettronika, fiżika ta' enerġija għolja, tagħmir żgħir ta 'die ta' ċirku u oqsma industrijali oħra.

