Pompa tal-vakwu li tuża wiċċ ta 'temperatura baxxa biex tikkondensa l-gass, magħrufa wkoll bħala pompa tal-kondensat. Il-krijopompa hija l-pompa tal-vakwu bl-inqas pressjoni aħħarija u l-ogħla rata ta 'ippumpjar biex tikseb vakwu nadif. Huwa użat ħafna fir-riċerka u l-produzzjoni ta 'semikondutturi u ċirkwiti integrati, kif ukoll riċerka tar-raġġ molekulari, tagħmir ta' kisi bil-vakwu, strumenti ta 'analiżi tal-wiċċ vakwu, implanters tal-jone u simulazzjoni spazjali. apparati, eċċ.
Prinċipju tal-ippumpjar Il-krijopompa hija mgħammra bi pjanċa kiesħa mkessħa għal temperatura baxxa ħafna b'elju likwidu jew friġġ. Jikkondensa l-gass u jżomm il-pressjoni tal-fwar tal-kondensat taħt il-pressjoni aħħarija tal-pompa, sabiex jinkiseb l-effett tal-ippumpjar. Il-funzjonijiet ewlenin tal-ippumpjar f'temperatura baxxa huma kondensazzjoni f'temperatura baxxa, adsorbiment f'temperatura baxxa u qbid f'temperatura baxxa. ① Kondensazzjoni f'temperatura baxxa: il-molekuli tal-gass jikkondensaw fuq il-wiċċ tal-pjanċa kiesħa jew fuq is-saff tal-gass ikkondensat, u l-pressjoni tal-ekwilibriju hija bażikament ugwali għall-pressjoni tal-fwar tal-kondensat. Meta tippompja l-arja, it-temperatura tal-pjanċa kiesħa għandha tkun inqas minn 25K; meta tippompja l-idroġenu, it-temperatura tal-pjanċa kiesħa hija aktar baxxa. Il-ħxuna tas-saff tal-kondensazzjoni b'temperatura baxxa u l-estrazzjoni tal-kondensazzjoni tista 'tilħaq madwar 10 mm. ②Assorbiment f'temperatura baxxa: Il-molekuli tal-gass huma adsorbiti fuq il-wiċċ ta 'l-adsorbent miksi fuq il-pjanċa kiesħa bi ħxuna ta' monosaff (10-8 ċm). Il-pressjoni tal-ekwilibriju għall-adsorbiment hija ħafna aktar baxxa mill-pressjoni tal-fwar fl-istess temperatura. Jekk il-pressjoni tal-fwar tal-idroġenu hija ugwali għall-pressjoni atmosferika f'20K, il-pressjoni tal-ekwilibriju tal-adsorbiment hija inqas minn 10-8 Pa meta karbonju attivat b'20K jassorbi l-idroġenu. Dan jagħmilha possibbli li jsir ippumpjar b'assorbiment krijoġeniku f'temperaturi ogħla. ③Insib krijoġeniku: Molekuli tal-gass li ma jistgħux jiġu kkondensati fit-temperatura ta 'estrazzjoni huma midfuna u adsorbiti mis-saff li qed jikber ta' gass kondensable.
B'mod ġenerali, il-pressjoni aħħarija tal-pompa hija l-pressjoni tal-fwar tal-gass ikkondensat fit-temperatura tal-pjanċa kiesħa. Meta t-temperatura tkun 120K, il-pressjoni tal-fwar tal-ilma hija diġà inqas minn 10-8 Pa. Meta t-temperatura tkun 20K, ħlief għall-elju, neon u idroġenu, il-pressjoni tal-fwar ta 'gassijiet oħra hija wkoll inqas minn {{3} } Pa. Madankollu, minħabba t-temperaturi differenti tal-kontenitur ippumpjat u l-pjanċa kiesħa krijoġenika, il-pressjoni aħħarija tal-pompa hija ogħla mill-pressjoni tal-fwar tal-kondensat. Għal bastiment f'temperatura tal-kamra, bi cryopanel ta '20K, il-pressjoni aħħarija tal-pompa hija madwar 4 darbiet il-pressjoni tal-fwar tal-kondensat.